长春管道保温 苏州新施诺：国产AMHS通半体制造“任督二脉”

　　□ 本报记者陈娴

　　如安在动辄数万平米、工序上千谈的半体晶圆厂里长春管道保温，让数十万片晶圆在不同树立间、、损地流转？苏州新施诺半体树立有限公司的自动物料搬运系统(AMHS)给出谜底。

　　走进新施诺的测试线，天花板轨谈纵横，被称为“天车”的空中吊挂式东谈主搬送车悄声气地穿梭其中。“这套系统就像是晶圆厂里的‘智能速公路’。”新施诺总司理宏玉先容，系统由硬件树立和自主研发的软件系总共同构成，为晶圆厂提供座处分案，不仅解脱了对树立的依赖，成为12英寸晶圆厂不成或缺的要道基础圭臬。已在多行业头部客户的产线结识开动。

　　跟着半体制造工艺的演进，东谈主工搬运在率、洁净度与震面早已力不从心。新施诺AMHS收效结束地座手艺的自主可控，完成从初代居品到领域化委用的逾越。当今其迭代至六代天车系统，可提供整厂全栈处分案：搬运重迭精度达±.5毫米，振动峰值截至在.5G以下，铁皮保温施工要道取放设有多重护；天车直线速率每秒5.3米，握放手脚仅需数秒，即使长距离跨区跨层搬运，率与结识也得以保证。

　　比硬件要道的是“大脑”。新施诺自主开采的退换软件，能处理逐日数十万次搬运任务，通过算法例避拥挤、化旅途，结束物料全程可回首、数据及时可视化，让分娩退换变得加“忠良”和“天真”。其模拟仿真退换量已1台，压力测试达7万次/天。

　　新施诺总司理宏玉说谈：“咱们将不息耕半体域长春管道保温，通过手艺立异禁止擢升国产化水平，助力产业向、智能迈进。”